产品特点及优势:
★精细线路加工专门机型,最小解析能力可达15/15μm,满足mSAP工艺需求
★搭配自主的超级算法的DMD控制系统,成就高解析度高三亿体育加工
★曝光工序全数字化作业,跨入工业4.0智能制造
最大曝光尺寸
大台面:24.5""×28.5”
标准台面:22""×24.5"
板厚
单机:0.05-5.0mm
连线:0.075-2.5mm
对位精度
±10 µm
层间对位精度
±20 µm
光源
405nm
景深
±300 µm
线宽精度
±10%
适配性
适配于智能制造系统
外形尺寸(连线,含收放板)
8542mm X 3200mm X 2200mm(L X W X H)
外形尺寸(单机)
3010 X 1898 X 2200(L X W X H)
承重需求
750KG/㎡
电力需求
3*380AC+N+P,80A
耗电功率
单机4KW/整机9KW
环境温湿度
22±1℃/55±5%
环境洁净度
Class 10000